多靶磁控溅射仪,单靶磁控溅射仪,磁控镀膜机
沈阳鹏程真空技术有限责任公司
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主营:多靶磁控溅射仪,单靶磁控溅射仪,磁控镀膜机
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适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等,可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作,也可用于大批量生产前的试验工作。4、样品架系统:可放置大小为φ120mm的样品,旋转速度为:0~30转/分。与手套箱联合系统的用户群体为科研院所及实验室,将真空蒸发系统工作室置于glove box无水、无氧、无尘的超纯环境中,pvd与glove box硬件无缝对接,操控融合一体,广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、oled等研究领域
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