多靶磁控溅射仪,单靶磁控溅射仪,磁控镀膜机
沈阳鹏程真空技术有限责任公司
联系人:董顺
电话:024-88427871
手机:13898863716
主营:多靶磁控溅射仪,单靶磁控溅射仪,磁控镀膜机
地址:沈阳市沈河区凌云街35号
主要用途:
-适合opv/钙钛矿/无机薄膜太阳能电池、半导体、有机el、oled显示研究与开发领域。
系统组成:
主要由真空室系统蒸发室、蒸发源系统、样品台系统、 真空抽气及测量系统、气路系统、控制系统、膜厚测试 系统、电控系统组成。
技术指标:
-真空度6.7×10-5pa,系统漏率:1×10-7pal/s; 恢复真空时间:40分钟可达6.6×10 pa短时间暴露 -并充干燥氮气后开始抽气
样品台:尺寸为4英寸平面样品;
蒸发源:3套
4套挡板系统:挡板共有3套,动密封手动控制;
气路系统:流量控制器1路
石英晶振膜厚控制仪:膜厚测量范围0-999999?
可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统
以下是沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您一起分享的内容,沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产电阻热蒸发镀膜产品,欢迎新老客户莅临。
有机无机蒸发镀膜仪采用直线式结构,主要由二个有机材料生长室组成,两个有机材料生长室之间通过闸板阀联接,其中一个生长室系统预留与手套箱对接接口,能够完成二套独立的制备薄膜系统之间互相传送基片。公司生产、销售电阻热蒸发镀膜产品,公司拥有-的销售团队和经营理念。有机无机蒸发镀膜仪的有机材料生长室主要由真空室腔体组件、有机蒸发源、热阻蒸发舟、样品传递装置、样品台、膜厚监测仪、真空室照明装置、烘烤装置等组成。