天津电子束镀膜机价格给您好的建议 沈阳鹏程真空技术

电子束蒸镀系统的特点

* 涡轮分子泵，串接机械泵或干泵

* pocket电子枪

* 电子束源和基片遮板

* 性能好的开关电源，杰出的消弧性能

* 自动pocket索引以及可编程的扫描控制器

* 膜厚监测，可设置目标膜厚作为工艺终点条件

* 旋转样品台，提供高均匀性

* 带观察视窗的腔门，便于放片/取片

* pc全自动控制，具有高度的可重复性

* labview软件的计算机全自动工艺控制控

* 多级密码保护的授权访问设计

* emo保护以及完全的安全联锁

以上就是为大家介绍的全部内容，希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多电子束的知识，欢迎拨打图片上的热线联系我们。

电子束镀膜机电源柜的操作

1. 总电源

2. 同时开电子枪控制ⅰ和电子枪控制ⅱ电源：按电子枪控制ⅰ电源、-开关、电源及保护灯亮，三分钟后- 及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。

3. 开高压，高压会达到10kv以上，调节束流可到200ma左右，帘栅为20v/100ma，灯丝电流1.2a，偏转电流在1~1.7之间摆动。

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