深圳电子束蒸发镀膜机价格-,沈阳鹏程

电子束蒸发镀膜机是由哪些部分组成的？

以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供，今天我们来分享电子束产品的相关内容，希望对同行业的朋友有所帮助！

设备组成：

设备由薄膜沉积室、真空获得系统、真空测量系统、电子束蒸发系统、水冷却循环系统、膜厚监测及控制系统、安全保护系统组成。

作用：电子束蒸镀常用来制备al、co、ni、fe的合金或氧化物膜，sio2、zro2膜，抗腐蚀和耐高温氧化膜。

电子束蒸发镀膜机安装介绍

安装台架：整个设备安放在一个用型钢焊接而成的台架上，此台架及围板均进行防锈及喷塑处理。上面罩不锈钢装饰板。

机架：碳钢制作，表面喷塑处理，不锈钢面板，支撑真空腔体及真空系统，底下配脚轮，方便移动、定位。

沈阳鹏程真空技术有限责任公司本着多年电子束产品行业经验，-电子束产品研发定制与生产，-的电子束产品生产设备和技术，建立了严格的产品生产体系，想要更多的了解，欢迎咨询图片上的热线电话！！！

电子束镀膜机介绍

* 带旋转的倾斜沉积

* 行星式基片夹具

* 基片rf/dc偏压

* 基片清洗的离子源以及离子辅助蒸镀

* 附加物理沉积源热蒸镀，磁控溅射

* 用于反应蒸镀的mfc

* 不同的泵-择，可升级分子泵为冷泵，前级泵为干泵

* 进样室和自动上下片/可支持单片和25片片夹

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