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电阻热蒸发镀膜——“蒸发技术”介绍

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蒸发技术分为间歇蒸发与连续蒸发、直接电阻加热蒸发和间接电阻加热蒸发，连续生产与制造厚膜时采用连续蒸发加热。一个入射的蒸气原子在表面的滞留时间中，parylene厂家，原子不断地扩散形成不均匀的成核作用，随着蒸气原子不断地冲击表面，各个核都在增长，相邻各核开始接触进入聚结阶段，直到形成连续膜。也可把上述过程划分为小岛阶段、网络阶段、孔阶段及连续膜阶段。

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parylene裂解仪

parylene用---的真空气相沉积工艺cvd技术制备，由活性小分子在基材表面生长出完全敷形的聚合物薄膜涂层，它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，号称无孔不入可深入裂缝里和内表面。这种真空状态下室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层，厚度均匀、致密无、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性，甚至被业内称为当今的防潮、防霉零级、防腐、防盐雾的特殊防护涂层。parylene涂层在具备以上优异防护性能基础上，尤其还具有---的生物兼容性，生物稳定性，并有优异的自润滑性，涂层均匀可控性，以及好的物理机械性能。

1.一腔体，采用sus304不锈钢舱体有效镀膜空间 ≧ 直径300mm x 高度350mm，腔体设有观景窗，parylene， 采用掀盖式腔盖并设有把手以便腔盖开闭。

2. 旋转平台，可承载重量: 20公斤，旋转速度: 0.5至10 rpm。

3. 油式泵浦，抽气速度 ≧ 200l/min ; 压力 ≦ 5*10-3torr。

4. 控制系统，采用具pid功能之温控模块及高的精度温度传感器，系统可进行自动或半自动(温控/真空)操作，并可储存与选择recipe 。

5. 附属冷凝机，温度 ≦ -90℃

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