多源蒸发系统介绍
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主要用途:
系统主要用来生长el oel分子有机电致发光器件薄膜的研究工作
系统组成:
该类设备为双室带手套箱结构的有机、无机、多源有机、无机气相分子沉积设备,采用直线式结构,由一个金属材料生长、氧化物生长室、一个有机材料生长室和一个手套箱组成,金属材料生长和氧化物生长室以及进样室/氧化物生长室之间通过空气锁联接,样品通过带远程手控盒功能的电动磁力耦合装置在两个生长室之间手动传递。可选手套箱。zf500有机蒸发镀膜机广泛应用于高校材料、物理、化学、电子、能源等相关学科以及科研院所制备高功能薄膜、蒸镀电极等,半导体、有机el、oled显示研究与开发领域。
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